Вторник 14 мая 2024 г. в конференц-зале корпуса КРФ-2 в 11.00
Докладчик: А.С. Шелковников (к.ф.-м.н, старший научный сотрудник Лаборатории стандартов частоты, ФИАН)
Тема доклада: «Электронно-лучевая литография: история, современное состояние и перспективы развития в РФ»
Аннотация:
Доклад посвящен краткому обзору истории применения электронно-лучевой литографии в современной науке и технике за последние полвека.
Кратко рассмотрены различные варианты электронно-лучевых генераторов (ЭЛГ), используемых в настоящее время – с переменным штампом и имеющих электронный пучок в форме гаусса. Приведены их предельные характеристики.
Дан краткий обзор по наличию ЭЛГ различных типов в современной России. Кратко освещена проблема создания первого современного отечественного ЭЛГ, решаемая в настоящее время в ТОП ФИАН, рассказано об этапах проделанных работ, состоянии проводимых работ и о ближайших перспективах.
Описаны различные области применения ЭЛГ в современной науке и технике: от создания отдельных элементов компонентной базы, разработки процессоров как общего, так и специального назначения, применение ЭЛГ в фотонике, голографии, рентгеновской оптике, при конструировании квантового компьютера и т.д.
Секретарь семинара: Юрышев Н.Н.
Ведущий семинара: Величанский В.Л.
+7(916)145-68-32
